您是否正在寻找最可靠的晶体生长炉供应商,以满足您的研究或生产线需求?
供应商比较汇总
供应商 | 旗舰产品 | 目标客户群体 |
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1. PVA TePla | CGS 系列 | 高端半导体制造工厂,研究机构 |
2. Ferrotec | CZ系统,PVT炉 | IDM企业,碳化硅(SiC)晶圆供应商 |
3. Thermo Fisher | 箱式炉,FZ系统 | 大学、研究实验室 |
4. AET | Kyma PVT 系统 | 欧洲半导体行业 |
5. Crystal Systems | HEM 炉 | LED、光学部件制造商 |
6. Jingsheng | CCZ 供料系统 | 光伏行业领军企业与半导体初创公司 |
7. Linton | 210毫米炉 | 隆基生态系统 |
8. NAURA | 碳化硅PVT炉 | IDM制造商 |
9. SICC | 8英寸碳化硅炉 | 汽车电子 |
10. AMEC | Prismo系列 |
迷你LED制造商 |
如需根据您的具体需求(预算、材料类型、生产能力)获得定制化建议,请联系我们的技术顾问!
1. PVA TePla (德国)
行业概述
PVA TePla 作为先进晶体生长系统的全球先驱,拥有超过30年的半导体和光电子材料加工专业经验。该公司已确立其在高精度晶体生长设备领域的行业标杆地位,尤其在新兴的宽禁带半导体市场中表现突出。其系统被全球领先的研究机构和工业制造商广泛采用,用于生产硅碳化物(SiC)和氮化镓(GaN)等前沿材料的晶体。PVA TePla 在温度控制算法和真空技术方面的持续创新,使其成为下一代电力电子和射频设备制造商的首选合作伙伴。
核心产品线及优势
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CGS(晶体生长系统)系列
- 专为化合物半导体(包括碳化硅、氮化镓和蓝宝石)设计。
- 具备亚度级温度均匀性(±0.1°C)和超低缺陷密度,适用于大尺寸晶圆生产(6英寸及以上碳化硅晶圆)。
- 配备集成式原位监测系统,实现实时晶体质量评估的先进自动化功能。
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IC系列(工业晶体生长系统)
- 专为硅单晶(CZ法)生产优化,支持12英寸及以上晶圆。
- 模块化架构允许定制加热元件、坩埚材料及直径控制系统。
目标客户
- 高端半导体制造商(例如英飞凌、Wolfspeed)。
- 需要超纯晶体的先进材料研究机构。
- 用于LED和光学应用的蓝宝石衬底生产商。
2. Ferrotec (日本/美国)
行业概述
自1980年成立以来,Ferrotec已发展成为全球半导体设备和材料领域的领军企业。该公司晶体生长部门将日本精密工程与美国制造规模相结合,为行业提供了一些最可靠的生产系统。Ferrotec的设备在硅和碳化硅供应链中发挥着关键作用,其CZ拉晶机生产的半导体级硅锭占全球总量的30%以上。该公司近期在大型碳化硅晶体生长技术上的突破,使其成为电动汽车革命的重要推动者,为三大洲的主要功率器件制造商提供关键支持。
核心产品线及优势
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硅CZ生长系统
- 可生产适用于逻辑和存储应用的8-12英寸硅单晶。
- 专利低氧控制技术(<10 ppma)可最大限度减少微缺陷。
- 可选磁性CZ(MCZ)配置,以实现更优的电阻率均匀性。
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碳化硅PVT系统
- 专为4H-SiC衬底生产设计,生长速率可达0.5毫米/小时。
- 先进的高温石墨组件(耐温2300°C以上)确保了长久的使用寿命。
目标客户
- 集成设备制造商(IDM)(例如:意法半导体、罗姆)。
- 为汽车电力电子市场提供碳化硅外延晶圆的供应商。
- 需要大型硅锭的光伏公司。
3. Thermo Fisher Scientific (美国)
行业概述
赛默飞世尔科技通过其材料加工部门,将世界一流的科学仪器专业知识带入晶体生长市场。凭借可追溯至半导体研究早期阶段的悠久历史,该公司已为全球超过1,000个实验室配备了精密晶体生长系统。赛默飞世尔科技因其为新型材料研究定制系统的能力而脱颖而出,已开发出适用于从量子计算材料到航天级光学晶体等各类应用的专用炉体。其设备因卓越的稳定性和重复性而备受推崇,已成为学术界与工业界材料科学前沿研发团队的标杆。
核心产品线及优势
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箱式晶体生长炉
- 温度范围从室温到1800°C,支持布里奇曼法和楚科夫斯基法。
- 紧凑型设计,适用于大学和企业研究实验室。
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浮区(FZ)系统
- 生产超高纯度硅和锗晶体,无坩埚污染。
- 精确的真空/气氛控制,适用于掺杂实验。
目标客户
- 材料科学研究实验室(例如麻省理工学院、中国科学院)。
- 需要小规模生产能力的初创企业。
- 特种晶体生产商(例如红外光学材料)。
4. AET Technologies (法国)
行业概述
AET Technologies 已成为欧洲领先的宽禁带半导体晶体生长设备专家。该公司由法国著名国家科学研究中心(CNRS)的材料科学家团队创立,在工业规模的碳化硅(SiC)生产中,通过物理气相传输(PVT)技术实现了多项突破。AET 的系统以高能效和工艺稳定性著称,助力欧洲半导体企业在国际市场中保持竞争力。该公司与航空航天及国防领域的紧密合作,已开发出符合最严苛质量与可靠性标准的专用晶体生长解决方案,满足关键任务应用的需求。
核心产品线及优势
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Kyma PVT 系列
- 专为 4H-SiC 和 GaN 设计,配备耐腐蚀生长室。
- 创新的多区域独立温度控制,确保晶体质量优化。
- 支持 6 英寸 SiC 衬底生产,具有卓越的良率。
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定制研究系统
- 为新兴材料如氧化镓 (Ga₂O₃) 和氮化铝 (AlN) 提供定制化解决方案。
目标客户
- 欧洲半导体供应链(例如:意法半导体、英飞凌)。
- 第三代半导体研发中心。
5. Crystal Systems Corporation (日本)
行业概述
Crystal Systems Corporation在其50年的发展历程中,凭借热交换法(HEM)技术建立了无与伦比的声誉。该公司对大型晶体生长的创新方法已彻底改变了多个行业,从LED制造到军事光学领域。水晶系统公司在热管理和晶体取向控制领域拥有多项专利,使其能够生产出世界上最大且光学最完美的蓝宝石晶体。该公司近期进军碳化硅(SiC)晶体生长设备领域,将HEM技术与传统PVT技术相结合,在晶体质量和生产效率方面具备独特优势。其系统在需要极高材料纯度和结构完美度的应用中尤为受到青睐。
核心产品线及优势
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HEM系列炉体
- 可生长用于LED基板的300公斤级蓝宝石晶体。
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提供低应力、高光学均匀性的晶体,适用于窗口应用。
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SiC生长系统
- 将PVT技术与HEM技术相结合,实现更高的SiC晶体产量。
目标客户
- 蓝宝石衬底制造商(例如京瓷)。
- 需要光学级晶体的激光器制造商。
6. 晶盛机电(JSG)
行业概述
成立于2006年,总部位于杭州的JSG是中国光伏及半导体晶体生长设备领域的领先企业。其业务涵盖整个产业链,包括光伏、集成电路和LED领域,使其成为全球光伏晶体炉的核心供应商。
核心产品线及优势
- 全自动CZ晶体炉:支持12英寸半导体级单晶硅生长,晶体缺陷密度低于0.5/cm²
- CCZ连续进料系统:节能15%,适用于N型电池成本降低
- SiC晶体设备:采用PVT生长技术,具有行业领先的良率
目标客户
- 隆基绿能、TZCO(光伏行业巨头)
- NSIG、狮王微电子(半导体创新企业)
7. 连城数控 (中国)
行业概述
连城数控成立于2007年,总部位于辽宁省大连市。作为隆基绿色能源生态链的核心企业之一,该公司专注于光伏及半导体晶体生长、切片及组件设备的集成供应。依托隆基的产业协同优势,该公司实现了从单晶炉到切片设备的垂直整合,成为光伏设备领域的重要参与者。近年来,连城数控积极拓展半导体级单晶炉及碳化硅(SiC)设备业务,推动国内替代进程。
核心产品线及优势
- 210毫米大型炉:模块化设计,兼容N/P型工艺
- 金刚石线切割机:±10微米切割精度,适用于超薄晶圆(<130微米)
- 8英寸半导体炉:针对集成电路基板市场
目标客户
- 隆基(贡献超过60%的收入)
- 晶科太阳能、高晶太阳能(新兴客户)
8. 北方华创 (中国)
行业概述
成立于2001年,总部位于北京,NAURA是中国半导体设备行业的领先企业,产品涵盖刻蚀、薄膜沉积、晶体生长、清洗设备等全产业链。在第三代半导体领域,NAURA通过自主研发和并购(如2018年收购Akrion清洗设备)建立了从衬底到外延的完整SiC/GaN设备解决方案,成为国内替代的支柱力量。
核心产品线及优势
- 碳化硅PVT炉:6/8英寸生长,微管密度<1/cm²
- 氮化镓MOCVD设备:±2%外延片均匀性,98%+良率
- 12英寸硅炉:客户验证
目标客户
- 中芯国际,三安光电
- 天蓝半导体
9. 山东天岳 (中国)
行业概述
天岳先进成立于2010年,总部位于山东省济南市,是中国碳化硅衬底材料领域的领先企业,业务涵盖碳化硅单晶生长、衬底加工及外延片制备。该公司通过自主设计晶体生长设备,实现了从设备到基板的全产业链控制,成为全球少数几家能够大规模供应6英寸导电碳化硅基板的企业之一。2022年在科创板上市后,天岳先进将加速8英寸基板的研发,目标瞄准汽车级市场。
核心产品线及优势
- 6/8英寸碳化硅炉:晶体收率50%以上(行业平均水平30-40%)
- 低应力切割:衬底翘曲<15微米
目标客户
- 英飞凌,博世(全球一级供应商)
- 比亚迪,华为汽车
10. 中微半导体设备股份有限公司 (中国)
行业概述
成立于2004年,总部位于上海,AMEC是中国在MOCVD设备和刻蚀设备领域领先的企业。在第三代半导体领域,AMEC通过战略投资(如华为Hubble)及产学研合作,成功研发了GaN MOCVD和SiC晶体生长设备,已成为三安光电、硅安微电子等企业的核心供应商。公司正以“国际化+高端化”的战略路径,持续拓展功率与射频器件市场。
核心产品线及优势
- Prismo MOCVD 系列:6/8 英寸晶圆波长均匀性达 ±1 纳米
- 碳化硅晶体设备:混合 PVT/溶液法
目标客户
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三安光电,HC SemiTek
- 华为汽车供应链
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